当前位置:深圳市尧顺科技有限公司 >> 成功案例 >> 样机制作成功案例 >> 浏览文章

我公司针对离子刻蚀设备的抄板圆满完成

   我公司针对离子刻蚀设备的抄板圆满完成,此离子刻蚀设备具备以下特点:

  1. 自动工艺配方表,灵活方便的手动调节。

  2. 工艺配方可U盘导入、导出,保证数据安全。

  3. 下游流量控制,确保气体组分及比例稳定。

  4. 完善的安全控制,通过互锁及冗余控制,保证系统安全。

  5. 所有运行参数可监控,并生成报表,以供追溯分析。

  6. 整机采用无油部件,可应用于净化间。

  7. 全自动控制解决方案,可实现一键到底式操控体验。

  8. 自动控制与手动操作一体化设计,无缝衔接。

  

    主要技术指标:

  可加工尺寸 5英寸

  基片台冷却 水冷+氦气背冷

  可刻蚀材料 硅基材料及金属

  腔室尺寸 225mm350mm

  真空系统 620L/S分子泵+8L/S干泵

  极限真空 5.0×10-4Pa

  电源系统 13.56MHz、1000W射频电源,自动匹配、自动控制;13.56MHz、500W射频电源,自动匹配、自动控制

  压力控制 MKS压力控制系统、下游流量控制

  气路 6路流量控制器,全自动控制、全自动现实并记录流量参数

  控制系统一体化工业控制器

  系统软件 ICP定制控制软件

  报警及保护对电极缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并保护

  我公司抄板实力雄厚,如有需要请致电我公司商务中心洽谈业务。