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针对真空排气台的克隆顺利结束

  我公司针对真空排气台的克隆顺利结束,本系统为超高真空排气台,可用于2个24英寸对角线的FED器件进行排气和电封离。 能对平板显示器进行特性测试,包括测试I-V曲线和观察显示图像(观察窗)。可通入气体后进行后处理和激活工艺。主要由真空获得系统、真空测量系统、进气系统、加热系统、封离系统、自动控制及保护系统、水冷却循环系统等组成。

  主要技术指标

  真空系统

  极限真空1×10-5Pa,正常工作真空优于5×10-5Pa,达到5×10-4Pa小于1小时

  排气工位

  共8个排气工位,横向间距310mm,纵向间距436mm,每工位均配备高真空隔断阀,可电动控制。在隔热屏上方有器件支架,方便装卸大尺寸器件。密封胶圈用水冷保护,采集水温数据,缺水报警。

  充气系统

  3路充气管路,8~200sccm流量控制连续可调;可混气加热,加热温度外部测试可达300℃,控温精度±1℃

  电封离

  每工位均安装独立控制电封离炉,电源功率可保证四工位同时封离。并提供一套备用封离电源。分升温、恒温、降温三段运行,可控电流和时间。

  加热部分

  烘箱尺寸1500mm×800 mm×300 mm,最高温度达500℃,控温精度±1℃,两套热偶控温系统,烘箱可电动升降,烘箱带观察窗。加热板310mm×400mm,独立控制,可拆卸,可控可调,最高加热温度500℃。烘箱从300℃自然降温至100℃不超过3℃/min。

  烘箱升降

  烘箱升降电动控制,确保运行平稳、可靠

  控制系统

  采用触摸式一体化机作为上位机实现人机交互及运行参数的显示记录,控制泵及阀门的启停,显示并自动记录系统实时显示真空度、温度、充气压强等参数,手动/自动切换

  占地面积

  长×宽×高:1800mm×1200mm× 2200mm

  我公司是专业的抄板公司,如有项目需要合作请与我公司联系。